ウェーハ酸化用加熱素子

はじめに ウェーハの酸化処理用に使用される産業用赤外線ヒーターについて、現実的に考えてみましょう。 最も重要な疑問は、家庭用の赤外線ランプを、輸入品の代わりにそのまま使えるかどうかです。もちろん、機械を改造したり、プロセスに支障が出たりすることなくです。 答えは、うまく設計されれば可能です。実際、...