なぜ対流式オーブンを捨てて赤外線照射に切り替えるのか？ 正直に言って、従来の対流式オーブンはあまり効率的ではありません。数個の部品を乾燥させるために、部屋全体の空気を加熱するのに莫大なエネルギーが必要です。非効率的であり、正直、時代遅れです。 だからこそ、ますます多くの半導体製造ラインで赤外線照射...

スマートファブでの適切な熱処理の実現法 もしインダストリー4.0対応の工場を構築しているのであれば、従来の加熱方法ではもはや十分ではないことに気づいているはずです。私たちは「設定しておけば何もしなくてよい」という考え方から離れ、実際のデータに基づいて処理を行う方向へと進んでいます。ウェーハの加熱に...

はじめに ウェーハの酸化処理用に使用される産業用赤外線ヒーターについて、現実的に考えてみましょう。 最も重要な疑問は、家庭用の赤外線ランプを、輸入品の代わりにそのまま使えるかどうかです。もちろん、機械を改造したり、プロセスに支障が出たりすることなくです。 答えは、うまく設計されれば可能です。実際、...

リソグラフィーの工程では、ソフトベイクの温度は単なる希望値ではなく、厳守すべき基準です。すべてのウェハー上で、端から端まで一貫した溶剤除去が必要です。わずか数度の温度変動やホットスポットがあるだけで、CDの精度が崩れてしまいます。私たちは、この基準を守り続けられるような加熱素子を開発しました。 技...

リソグラフィーの現場では、わずか0.5度の温度変動だけでもCDのバイアスが規格を外れてしまうことをすぐに理解できます。また、ハードベイク時に端部で過度な加熱が起きると、スケーミングが発生し、検査が不可能になってしまいます。ウェーハの加熱は単なる補助的な工程ではありません。それは、パターン化される各...