なぜ、古いタイプのバスルーム用ヒーターをIP65対応の赤外線ヒーターに置き換えるのか？ 正直に言って、昔のバスルーム用「ライトヒーター」というのは、実際には役に立たないものです。要するに、単なる高価な電球に過ぎず、熱くなるだけです。問題は、湿気に弱いという点です。湿度が電気接点に触れると、すぐに故...

はじめに ウェーハの酸化処理用に使用される産業用赤外線ヒーターについて、現実的に考えてみましょう。 最も重要な疑問は、家庭用の赤外線ランプを、輸入品の代わりにそのまま使えるかどうかです。もちろん、機械を改造したり、プロセスに支障が出たりすることなくです。 答えは、うまく設計されれば可能です。実際、...

リソグラフィーの工程では、ソフトベイクの温度は単なる希望値ではなく、厳守すべき基準です。すべてのウェハー上で、端から端まで一貫した溶剤除去が必要です。わずか数度の温度変動やホットスポットがあるだけで、CDの精度が崩れてしまいます。私たちは、この基準を守り続けられるような加熱素子を開発しました。 技...