なぜ対流式オーブンを捨てて赤外線照射に切り替えるのか？ 正直に言って、従来の対流式オーブンはあまり効率的ではありません。数個の部品を乾燥させるために、部屋全体の空気を加熱するのに莫大なエネルギーが必要です。非効率的であり、正直、時代遅れです。 だからこそ、ますます多くの半導体製造ラインで赤外線照射...

ファブの熱管理を適切に行う方法 デジタル対応型のファブを構築する際、ソフトウェアにばかり注力してしまいがちです。しかし、ハードウェアが壊れてしまえば、どんなに高度なデータがあっても意味がありません。まずは、熱をどう扱うかから考える必要があります。 私たちの半導体製造装置では、テフロン（PTFE）で...

ウェーハを温かく保つために：IRヒーターの真実 スマートファブを運営している方なら、ウェーハや基板を移動させる際の苦労がよくわかるでしょう。輸送中に温度が少しでも下がってしまうと、問題が発生します。そのため、私たちはトロリーヒーターとして短波形の赤外線を使用しています。 最も良い点は、赤外線が放射...

なぜ私たちが誘電体の信頼性にこだわるのか 半導体業界において、機能しなくなったサーミスタというのは、単に壊れた部品というだけではありません。それは、一連のウェーハが廃棄されることを意味します。また、計画外の停止時間も長くなります。本当に頭痛の種です。 だからこそ、私たちはリスクを冒しません。すべて...

無駄なエネルギー消費をやめましょう：ゴールドコーティングされたIRランプの真実 半導体ウェーハを加工している方なら、1ワットでも大切だということはご存知でしょう。無駄に電力を消費するのは本当に悔しいことです。 問題は、通常のクォーツランプではエネルギーがあらゆる方向に放出されてしまうことです。つま...

製造現場において、温度の安定性は「あれば便利」というレベルではありません。それは生産ラインで必須とされる条件です。フォトレジスト処理中にわずか数十分の一度程度の温度変動があっても、CD制御が乱れ、多大な損失を招く可能性があります。 古式のヒーターでは、均一な加熱が難しく、粒子の発生や、最も困るタイ...