なぜ私たちが誘電体の信頼性にこだわるのか
半導体業界において、機能しなくなったサーミスタというのは、単に壊れた部品というだけではありません。それは、一連のウェーハが廃棄されることを意味します。また、計画外の停止時間も長くなります。本当に頭痛の種です。
だからこそ、私たちはリスクを冒しません。すべてのセンサーを、工場全体を停止させる可能性のあるものとして扱います。そのため、出荷前には、各ユニットが100％の高圧耐性試験や絶縁抵抗試験を受けます。
電気漏れの実態
半導体ヒーターは過酷な環境で動作しています。極端な温度変化によって、通常はアルミナやセラミックスでできている絶縁材に大きな負荷がかかります。時間が経つにつれて、または製造中にも、微細なひび割れや孔が生じることがあります。もし絶縁体が破壊されると、電流がヒーター素子から直接センサ回路に流れ込みます。これにより、温度測定値が乱れるだけでなく、PIDコントローラーが壊れたり、システムに電気ノイズが混入したりします。結果として、プロセスの安定性が失われてしまいます。
私たちがどのようにテストを行うか
私たちは「バッチサンプリング」を好みません。10個のセンサーのうち1個だけをチェックするだけでは不十分です。代わりに、すべての接続部分について誘電体耐圧試験を行います。工具で使用される電圧よりもはるかに高い電圧をセンサーにかけます。なぜかというと、潜在的な弱点を、後で工場で発見するのではなく、今のうちに明らかにしたいからです。もし絶縁体に小さな穴があったり、セラミックスの表面に汚れがあったりすると、そのユニットは不合格となります。単純ですね。また、絶縁抵抗も確認し、漏れ電流がほとんどないことを確認します。
工場からのアドバイス
テストによって、最初から故障する可能性の高いセンサーを見つけ出すことができます。しかし正直に言って、誘電体の強度は永遠に保たれるわけではありません。炉内での繰り返される熱サイクルによって、材料は徐々に劣化していきます。私たちはセンサーが完成時点で完璧であることを保証しますが、定期的なメンテナンスの際には、引き続き絶縁抵抗をチェックする必要があります。早期に劣化を発見すれば、ショート回路を避けることができます。最後に、コネクタのトルクを適切に調整し、取り付け面を清潔に保つことも重要です。私たちが見る多くの「センサーの故障」は、実際には不適切な取り付けによって引き起こされるものです。