クラス100のクリーンルームで作業を行う際、ほんのわずかなほこりでも単なる迷惑な存在ではなく、大惨事につながります。もし加熱要素から粒子が飛び出してしまったら、製品全体が台無しになってしまいます。
そのため、私たちは普通のガラスや安価な石英を使うことはありません。そうした材料は、高温になると剥離したり、イオンを放出したりする傾向があります。代わりに、ウェーハ用の加熱器には高純度の融着石英を使用しています。これにより、安定性が保たれ、ガスが漏れ出ることもなく、急激な温度変化にも耐えられます。
完璧な清潔さを維持する 私たちは石英製の容器自体にも細心の注意を払っています。合成融着シリカを使用することで、ワット数を上げるときによく起こる「曇り」や粒子の飛散といった問題を防ぎます。
また、非接触型の加熱方式なので、赤外線が直接ウェーハ表面に当たります。触れることもなく、摩擦もないので、機械的な欠陥が生じる心配もありません。
適切な温度を実現する これはバランスを取る必要がある作業です。私たちは高い熱密度を持つランプを選定していますが、ワット数や電圧には注意を払います。なぜかというと、短い管に多すぎるワット数を投入すると、ウェーハの中心部に過熱点ができてしまうからです。
私たちはフィラメントの形状を調整することで、そのような状況を避けています。そうすることで、均一でスムーズな温度上昇が実現されます。CVD処理やアニーリングを行う場合、一貫性が何よりも重要です。
設置時の注意点 これらのランプは、精密に合わせられたコネクタと共に送られてきます。しっかりとした電気的接続が必要です。クリーンルーム内で接続が緩むと、アークが発生し、最終的には金属のほこりが発生してしまいます。
ただ一点注意が必要です。高純度の石英は、一般的な工業用ガラスよりももろいです。熱は好きですが、落下には弱いのです。
丁寧に扱いましょう。繊維のない手袋を使用し、設置時には急な衝撃を与えないようにしてください。そうしないと、容器にひびが入ってしまいます。