ウェーハ硬化ランプ用反射器
化学物質の近くでウェーハを加熱処理する際に、安全を確保するためにはどうすればよいでしょうか？
正直に言って、高熱を発するIRランプを可燃性の洗浄剤のそばに置くのは、災害を招く行為です。もし、不安定な環境で通常のランプを使用すると、まるでクリーンルーム内に火災を引き起こすようなものです。これは非常に...
ツインチューブ型ゴールドコーティングランプ
ウェーハの汚染を防ぐために：なぜ私たちは金コーティングされたツインチューブ型のランプを開発したのか
大量生産が行われる半導体工場では、ランプが故障すると大変な問題になります。単に停止時間が長くなるだけではありません。クォーツ管が破損すると、その破片や化学物質がウェーハに直接飛び散ってしまいます。一...
ファブレーター用石英ガラスシールド
熱の無駄遣いを止めよう：なぜクォーツ製のシールドがファブ内のラムプにとって重要か
半導体ファブを運営しているとき、最も避けたいのは、加熱用のランプがウェーハを汚してしまうことです。それは大変な問題です。そのため、私たちは高純度のクォーツガラス製のシールドを使用します。
これらは、ランプの「ボディー...
半導体用金コーティング赤外線ランプ
無駄なエネルギー消費をやめましょう：ゴールドコーティングされたIRランプの真実
半導体ウェーハを加工している方なら、1ワットでも大切だということはご存知でしょう。無駄に電力を消費するのは本当に悔しいことです。
問題は、通常のクォーツランプではエネルギーがあらゆる方向に放出されてしまうことです。つま...
認定済み赤外線硬化ランプ製造工場
なぜ金コーティングされた反射器がIR装置にとって重要なのか 半導体製造工場では、エネルギーの無駄遣いはつまり時間の無駄遣いです。もし硬化用のランプを使用している場合、その赤外線エネルギーの多くが本来必要とされるウェハ以外の場所に散逸してしまいます。 そこで役立つのが金コーティングされた反射器です。...
オゾンフリー赤外線ランプ
ウェーハの汚染を未然に防ぐ：IRランプをより効果的に扱う方法
大量生産の半導体製造において、ランプが破損するというのは、単なる問題や短時間の停止にとどまらず、本当に悪夢のような状況です。
例えば、クォーツ管がウェーハのすぐ上で壊れてしまったと想像してみてください。それは単なる電球の破損ではなく、ガ...
UHP 超高純度 ヒーターランプ
現代の製造現場で適切な温度管理を実現するには 次世代の製造ラインを構築しようとしているなら、従来の熱処理方法ではもはや不十分だと気づいているはずです。そこで役立つのがUHP赤外線ヒーターランプです。これらが選ばれる理由は、従来の抵抗加熱器では到底達成できないほど高い精度で温度を制御できるからです。...
炭素繊維赤外線ランプ工場
機械の壁を加熱するのをやめて、ウェーハを直接加熱しましょう。
一般的な加熱素子は、どこにでも熱を放出してしまいます。半導体デバイスが収められている狭い空間では、これは大きな問題となります。結果として、ケースが非常に高温になり、作業員が火傷したり、近くにある精密な電子部品が破壊されたりすることになり...
IRランプ用アルミニウム反射板
製品を破壊することなくIRランプを使用する方法 もしIRランプを化学洗浄用の浴槽の上に設置する場合、最悪の事態を考えておく必要があります。VOCや可燃性の蒸気が存在するため、わずかな火花や素子の損傷だけで大きな問題が発生してしまいます。
私たちは、高反射率のアルミニウム製のケースを使用し、しっかり...
RTPシステム用ランプの最安価格
半導体製造ラインを効率的に運営することについて話しましょう。効率的に運営しようとすると、熱処理にかかるコストは決して後回しにできない要素です。それは非常に重要な問題なのです。
だからこそ、私たちはRTP（急速熱処理）用の赤外線ランプを開発しました。その目的は単純です。有名ブランド製品と同等の高い性...
ニコン ステッパーランプの交換
ファブの現場では、ステッパーランプは単に照明をするためだけのものではありません。それは、各種フォトレジストの加熱処理における熱管理を行うための重要な要素です。ソフトベイクやハードベイクの際に1℃でも温度が変動すれば、精密な寸法制御が困難になります。そうなるとラインの稼働が停止してしまいます。私たち...
炭化ケイ素 SiC ファーネスランプ
実際の工程においては、熱ドリフトというのは理論上の概念に過ぎず、実用性はない。ウェハの乾燥、フォトレジストのソフトベイクやハードベイク、エンカプセル剤の硬化処理、そして洗浄後の乾燥など、すべてが厳格な温度管理のもとで行われる。もし設定された温度が保てなければ、寸法制御が乱れ、接着力が低下し、最終的...
ウエハー除湿ヒーターランプ
300mm工程においては、洗浄後に残った水分が問題となります。これは、手遅れになって初めてその影響が現れるのです。この水分はフォトレジスト層に入り込み、熱バランスを乱し、露光後には不良品を引き起こします。ウェーハ上の水分を除去するためのヒーターランプは、このような問題を根本的に解決するために設計さ...
クリーンルーム用作業台赤外線ランプ
ウエハーフロアでは、0.2℃の漂うソフトベークがクリティカルディメンションに影響を与え、エッジで高温になるハードベークはスカムや残留物を残すことを知っています。私たちは、その変動を排除するためにクリーンルームベンチ赤外線ランプを構築しました。
内部で重要なこと これは近赤外線（NIR）石英エミッタ...
深紫外線 DUV レジストベークランプ
Role リソグラフィフロアでは、レジストベイク温度の0.2℃のドリフトは「小さな偏差」ではありません。それは歩留まりが出口から失われることを意味します。ソフトベイクは溶剤のプロファイルを設定し、ハードベイクはイメージを固定します。どちらもウェハごとに繰り返し同じ熱供給が必要です。ベイクプロファイ...