化学物質の近くでウェーハを加熱処理する際に、安全を確保するためにはどうすればよいでしょうか？
正直に言って、高熱を発するIRランプを可燃性の洗浄剤のそばに置くのは、災害を招く行為です。もし、不安定な環境で通常のランプを使用すると、まるでクリーンルーム内に火災を引き起こすようなものです。これは非常に大きなリスクです。
そのため、私たちは反射器やランプの構造を工夫し、熱が周囲の空気に漏れ出さないようにしています。
蒸気の侵入を防ぐ
目的は単純です。化学物質の蒸気が高温の石英管に触れないようにすることです。これを実現するために、ランプを強化ガラスや石英で作られた密封されたケースに包みます。そして、端々を耐熱性のあるフランジやガスケットで固定します。これにより、しっかりとした壁が形成され、もし洗浄室に漏れがあっても、蒸気がケースの中に入ってこないのです。ランプが点火源にならないので、安心して作業できます。
熱の管理
私たちは高純度のアルミニウムや金をコーティングした反射器を使用し、赤外線エネルギーをウェーハに直接当てます。無駄な熱が発生せず、エネルギーも無駄に散逸しません。反射効率が高いため、ケースの外部は冷たく保たれます。しかし、空気の流れにも注意が必要です。排気システムが周囲の熱を十分に排出できない場合、ケースが過度に熱くなり、シール部分が劣化する可能性があります。必ず確認しておきましょう。
スパーク防止の配線
電気に関しては、絶対にリスクを取りません。爆発を防ぐために、難燃性のケーブルやコネクタを使用しています。接続点でスパークが発生することはありません。また、電源装置を加熱エリアから離した位置に配置しています。これにより、潜在的な点火源を危険地域から完全に排除できます。
適合性について
これらは、既存の加熱装置の代替品として設計されているため、交換が簡単です。しかし、多くの保護機能が追加されているため、標準的なランプよりも少し大きくなっています。注文する前に、必ずメジャーを使ってチャassisの隙間を確認してください。問題なく挿入できる十分なスペースがあるかを確認しましょう。