なぜ金コーティングされた反射器がIR装置にとって重要なのか
半導体製造工場では、エネルギーの無駄遣いはつまり時間の無駄遣いです。もし硬化用のランプを使用している場合、その赤外線エネルギーの多くが本来必要とされるウェハ以外の場所に散逸してしまいます。 そこで役立つのが金コーティングされた反射器です。これにより、エネルギーの漏れを防ぐことができます。
なぜ金なのか？ 見た目が良いからというわけではありません。実際には、金は近赤外線を効果的に反射する能力に優れているのです。アルミニウムも十分な性能を発揮しますが、金の方がさらに優れています。つまり、支払ったエネルギーのほぼ全てがウェハに届くのです。 このようにエネルギーを集中させることで、より高い熱流量が得られます。つまり、目標とする温度に到達するのが速くなります。そして最良な点は、作業を行うために電圧を高く設定する必要がないということです。
熱対策 高出力のIRランプは非常に熱くなります。実際、かなり高温になります。 工場を設置する際には、出力密度と冷却システムのバランスを常に考えなければなりません。金コーティングによって、標準的なランプと同じ表面温度を得られる一方で、全体の消費電力を低減できます。 これにより、装置自体がオーブンのようになるのを防ぎ、周囲の部品が過熱するのも防げます。つまり、装置の温度を下げることができるのです。
デメリット（必ずあるものです） 金は高価です。また、扱いにも注意が必要です。 表面に指紋やわずかな油汚れが付くだけで「冷点」が生じ、ウェハ上の硬化が不均一になってしまいます。そのため、しっかりとした清掃プロセスや、コーティングを傷つけないような取り付け方法が必要です。 もし、効率が5～10％低下しても問題ないのであれば、アルミニウムを使った方が安上がりで簡単です。 しかし、均一性が何よりも重要な高精度な作業においては、金が最適です。正しく接続し、表面をきれいに保てば、電源の性能を最大限に引き出すことができます。