現代の製造現場で適切な温度管理を実現するには
次世代の製造ラインを構築しようとしているなら、従来の熱処理方法ではもはや不十分だと気づいているはずです。そこで役立つのがUHP赤外線ヒーターランプです。これらが選ばれる理由は、従来の抵抗加熱器では到底達成できないほど高い精度で温度を制御できるからです。
なぜ赤外線を使うのか？
デジタル生産においては、すぐに対応が必要です。 赤外線ランプは、チャンバー内の空気を温めるための時間を無駄にしません。代わりに、放射熱を直接ウェーハや基板上に届けます。非常に速いのです。 PLCが温度変更の指示を出すと、ランプは即座に反応します。遅延や待機の必要はありません。私たちは、これらのランプをデジタルセンサーと連携させて設計しているので、表面での熱の拡散状況を直接確認しながら、その場で出力を調整することができます。
長所と短所（正直なところ）
私たちが作るこのランプは、高い出力を発揮するように設計されています。高ワット数の石英管を使用することで、短波放射を実現しており、そのため迅速に温度が上昇します。 しかし、一方で問題点もあります。その多くのエネルギーによって、ハードウェアに大きな負担がかかります。高電圧のUHPアレイを使用している場合は、冷却システムが十分に機能しているかを確認する必要があります。そうでなければ、ランプが壊れてしまい、稼働停止に陥る可能性があります。
塵の除去
この業界では、ほんの少しのほこりでも全体の品質を台無しにしてしまいます。それは本当に悪夢のようなことです。 そのため、高品質の合成石英や、ガス漏れを防ぐ特殊コーティングを使用しています。また、真空状態で剥がれ落ちたり粒状物が漏れ出したりする可能性のあるものは一切排除しています。つまり、環境を清潔に保つことが重要です。
ご自身の工場での使用
ほとんどの方は、現在の設備にマッチし、かつより優れたデータを提供してくれるものを求めています。 赤外線システムを導入すれば、推測に頼る必要がなくなります。熱電対を見て温度が適切かどうかを期待する代わりに、実際にエネルギーの流れをコントロールできます。これにより、生産ライン全体が予測可能になります。 ただ一点注意が必要です。電源装置には細心の注意を払う必要があります。電圧の急激な変動は、ランプの寿命を著しく短縮させてしまいます。