MEMSセンサーワエハ乾燥ヒーター

MEMSウェーハを乾燥させる際に、常に清潔な状態を保つためには MEMSセンサーウェーハを乾燥させるとき、熱だけが重要な要素ではありません。本当の課題は、微粒子との戦いです。クラス100のクリーンルームで作業している場合、わずかな破損したフィラメントの破片やガス化した物質でも、全体の製品が無駄にな...