マシンを加熱するのではなく、ウェーハを直接加熱しましょう。 ウェーハ処理において赤外線を利用する際、このような問題があります。つまり、実際に加熱したい部分以外のすべての部分が過度に加熱されてしまうのです。 装置の内側の壁面が危険なほど熱くなることがあれば、その苦労はご存知でしょう。これは単なるエネ...

製品を破壊することなくIRランプを使用する方法 もしIRランプを化学洗浄用の浴槽の上に設置する場合、最悪の事態を考えておく必要があります。VOCや可燃性の蒸気が存在するため、わずかな火花や素子の損傷だけで大きな問題が発生してしまいます。 私たちは、高反射率のアルミニウム製のケースを使用し、しっかり...