クリーンルームでの戦いをやめよう：なぜIRがスマートファブに適しているのか スマートファブを構築する際、従来の対流式オーブンはあまり効果的ではないことに気づくでしょう。クリーンルームでは、ほこりが最大の敵です。それだけです。一方、強制送風式オーブンは巨大なファンのように働き、不必要な場所で微粒子を...

ウェーハを温かく保つために：IRヒーターの真実 スマートファブを運営している方なら、ウェーハや基板を移動させる際の苦労がよくわかるでしょう。輸送中に温度が少しでも下がってしまうと、問題が発生します。そのため、私たちはトロリーヒーターとして短波形の赤外線を使用しています。 最も良い点は、赤外線が放射...

ファブ内での炭素排出量を減らす：なぜ赤外線加熱が有効なのか 正直言って、半導体製造工場は莫大なエネルギーを消費する場所です。実際に工場で働いてみればわかりますが、古いタイプのクリーンルーム装置は、抵抗加熱や面倒な熱処理工程を利用しており、結果としてエネルギーが無駄に消費されてしまいます。これはもっ...

クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために もしあなたがクラス100の環境で作業を行っているなら、粒子が飛散するという問題がどれほど厄介かはご存知でしょう。ヒーターから出るわずかな破片だけで、作業した製品全体が台無しになってしまいます。一般的なヒーターでは、このような状況に耐えられ...

ウエハーフロアでは、0.2℃の漂うソフトベークがクリティカルディメンションに影響を与え、エッジで高温になるハードベークはスカムや残留物を残すことを知っています。私たちは、その変動を排除するためにクリーンルームベンチ赤外線ランプを構築しました。 内部で重要なこと これは近赤外線（NIR）石英エミッタ...