半導体クリーンルーム用トロリータイプヒーター

ウェーハを温かく保つために：IRヒーターの真実 スマートファブを運営している方なら、ウェーハや基板を移動させる際の苦労がよくわかるでしょう。輸送中に温度が少しでも下がってしまうと、問題が発生します。そのため、私たちはトロリーヒーターとして短波形の赤外線を使用しています。 最も良い点は、赤外線が放射...