半導体製造施設用ヒーター

製造現場において、温度の安定性は「あれば便利」というレベルではありません。それは生産ラインで必須とされる条件です。フォトレジスト処理中にわずか数十分の一度程度の温度変動があっても、CD制御が乱れ、多大な損失を招く可能性があります。 古式のヒーターでは、均一な加熱が難しく、粒子の発生や、最も困るタイ...