Aixtron ヒーターエレメント予備部品

ファブフロアでは、AixtronのMOCVD装置は熱ドリフトを容赦しない。ヒーター素子の性能が低下し始めると即座にわかる。ウェハーの温度均一性が崩れ、ランツーランの再現性が不安定になり、エピタキシャルスタックの熱予算も正常に動作しなくなる。その結果、ロットのスクラップや計画外のダウンタイムが発生し...