真空対応の赤外線ヒーター

なぜ真空中で金メッキされた反射体が重要なのか もし真空中でシリコンウェーハを加熱しているのであれば、通常の法則は適用されないことに気づいているはずです。対流に頼ることはできません。完全に放射に頼るしかありません。 問題は、標準的な研磨済みアルミニウムやステンレス鋼を使用すると、エネルギーが無駄にな...