なぜCNT製造において抵抗式炉の代わりに赤外線を使用するのか もし、カーボンナノチューブの製造に時間を費やしたことがあるなら、その困難さはご存知でしょう。正しい手性や純度を得るためには、正確な温度制御が必要ですが、従来の抵抗式炉はあまりにも非効率的です。実際に加熱が必要なのは基板だけなのに、炉全体...

機械の壁を加熱するのをやめて、ウェーハを直接加熱しましょう。 一般的な加熱素子は、どこにでも熱を放出してしまいます。半導体デバイスが収められている狭い空間では、これは大きな問題となります。結果として、ケースが非常に高温になり、作業員が火傷したり、近くにある精密な電子部品が破壊されたりすることになり...