スマートファブでの適切な熱処理の実現法 もしインダストリー4.0対応の工場を構築しているのであれば、従来の加熱方法ではもはや十分ではないことに気づいているはずです。私たちは「設定しておけば何もしなくてよい」という考え方から離れ、実際のデータに基づいて処理を行う方向へと進んでいます。ウェーハの加熱に...

化学物質の近くでウェーハを加熱処理する際に、安全を確保するためにはどうすればよいでしょうか？ 正直に言って、高熱を発するIRランプを可燃性の洗浄剤のそばに置くのは、災害を招く行為です。もし、不安定な環境で通常のランプを使用すると、まるでクリーンルーム内に火災を引き起こすようなものです。これは非常に...

マシンを加熱するのではなく、ウェーハを直接加熱しましょう。 ウェーハ処理において赤外線を利用する際、このような問題があります。つまり、実際に加熱したい部分以外のすべての部分が過度に加熱されてしまうのです。 装置の内側の壁面が危険なほど熱くなることがあれば、その苦労はご存知でしょう。これは単なるエネ...

MEMSウェーハを乾燥させる際に、常に清潔な状態を保つためには MEMSセンサーウェーハを乾燥させるとき、熱だけが重要な要素ではありません。本当の課題は、微粒子との戦いです。クラス100のクリーンルームで作業している場合、わずかな破損したフィラメントの破片やガス化した物質でも、全体の製品が無駄にな...

クラス100のクリーンルームで作業を行う際、ほんのわずかなほこりでも単なる迷惑な存在ではなく、大惨事につながります。もし加熱要素から粒子が飛び出してしまったら、製品全体が台無しになってしまいます。 そのため、私たちは普通のガラスや安価な石英を使うことはありません。そうした材料は、高温になると剥離し...

なぜウェーハの硬化に赤外線を使用するのか？ 半導体ウェーハの乾燥や硬化においては、赤外線が最適な手段です。これにより、面倒な溶剤を使う必要がなくなりますし、長時間かかって温度が上がるような大型で消費電力の多い対流式オーブンも不要になります。 赤外線の利点は、接着剤やフォトレジスト内の特定の分子振動...

はじめに ウェーハの酸化処理用に使用される産業用赤外線ヒーターについて、現実的に考えてみましょう。 最も重要な疑問は、家庭用の赤外線ランプを、輸入品の代わりにそのまま使えるかどうかです。もちろん、機械を改造したり、プロセスに支障が出たりすることなくです。 答えは、うまく設計されれば可能です。実際、...

300mm工程においては、洗浄後に残った水分が問題となります。これは、手遅れになって初めてその影響が現れるのです。この水分はフォトレジスト層に入り込み、熱バランスを乱し、露光後には不良品を引き起こします。ウェーハ上の水分を除去するためのヒーターランプは、このような問題を根本的に解決するために設計さ...

リソグラフィーの現場では、わずか0.5度の温度変動だけでもCDのバイアスが規格を外れてしまうことをすぐに理解できます。また、ハードベイク時に端部で過度な加熱が起きると、スケーミングが発生し、検査が不可能になってしまいます。ウェーハの加熱は単なる補助的な工程ではありません。それは、パターン化される各...