ウェーハ処理装置用温度センサー

なぜウェーハの硬化に赤外線を使用するのか？ 半導体ウェーハの乾燥や硬化においては、赤外線が最適な手段です。これにより、面倒な溶剤を使う必要がなくなりますし、長時間かかって温度が上がるような大型で消費電力の多い対流式オーブンも不要になります。 赤外線の利点は、接着剤やフォトレジスト内の特定の分子振動...