ウェーハ用高精度IRセンサー

マシンを加熱するのではなく、ウェーハを直接加熱しましょう。 ウェーハ処理において赤外線を利用する際、このような問題があります。つまり、実際に加熱したい部分以外のすべての部分が過度に加熱されてしまうのです。 装置の内側の壁面が危険なほど熱くなることがあれば、その苦労はご存知でしょう。これは単なるエネ...