リソグラフィーの工程では、ソフトベイクの温度は単なる希望値ではなく、厳守すべき基準です。すべてのウェハー上で、端から端まで一貫した溶剤除去が必要です。わずか数度の温度変動やホットスポットがあるだけで、CDの精度が崩れてしまいます。私たちは、この基準を守り続けられるような加熱素子を開発しました。 技...

Role リソグラフィフロアでは、レジストベイク温度の0.2℃のドリフトは「小さな偏差」ではありません。それは歩留まりが出口から失われることを意味します。ソフトベイクは溶剤のプロファイルを設定し、ハードベイクはイメージを固定します。どちらもウェハごとに繰り返し同じ熱供給が必要です。ベイクプロファイ...