機械の壁を加熱するのをやめて、ウェーハを直接加熱しましょう。
一般的な加熱素子は、どこにでも熱を放出してしまいます。半導体デバイスが収められている狭い空間では、これは大きな問題となります。結果として、ケースが非常に高温になり、作業員が火傷したり、近くにある精密な電子部品が破壊されたりすることになります。
これはエネルギーの無駄遣いであり、安全性の面からも問題です。
解決策は実にシンプルです。方向性のある炭素繊維製のIRランプを使用するのです。
実際の仕組み
従来の石英ヒーターは、360度全方位に光を放つ電球のようなものです。しかし、炭素繊維ランプは異なります。反射材や特殊な形状を使って、光を集中させることができます。
そうすることで、エネルギーが機械内を無駄に散乱するのではなく、必要な場所、つまりウェーハや基板に直接届くのです。
詳細な点
いくつか注意すべき点があります。炭素繊維フィラメントはタングステンほど高温にはなりませんが、中波赤外線を効果的に放出できます。そのため、温度上昇がずっと速くなります。
ただし、振動に弱いので、環境が不安定な場合は、固定装置をしっかりと固定する必要があります。そうしないと、フィラメントが壊れてしまう可能性があります。
私たちは、お客様の特定の電力供給条件に合わせて、このランプをカスタマイズします。ワット数を上げても、サイズを小さく保つことができます。ただし、制御回路を正確に設定する必要があります。急激に温度が上がるため、意図しない高温になってしまう可能性があります。
お店に与える影響
空気や機器の筐体にエネルギーを無駄に使わなくなるので、すべてが簡単になります。大型の冷却ファンを使ったり、高価な断熱材を購入したりする心配もありません。
接続すれば、ビームを向けるだけで済みます。最良の点は、ケースが触っても冷たいままでいることです。作業員の安全が確保され、エネルギー代も削減され、全体としてシステムが効率的に動作します。