ウェーハの汚染を防ぐために：なぜ私たちは金コーティングされたツインチューブ型のランプを開発したのか 大量生産が行われる半導体工場では、ランプが故障すると大変な問題になります。単に停止時間が長くなるだけではありません。クォーツ管が破損すると、その破片や化学物質がウェーハに直接飛び散ってしまいます。一...

リソグラフィフロアにおいて、フォトレジストのベークウィンドウは単なる指針ではなく、プロセスそのものです。ソフトベークまたはハードベークにおける2℃の変動は重要寸法制御を乱し、ラインは停止します。必要なのは、速く立ち上がり、安定して維持され、かつクリーンなヒートです。 必要な要素はシンプルです...