ウェーハの汚染を防ぐために：なぜ私たちは金コーティングされたツインチューブ型のランプを開発したのか
大量生産が行われる半導体工場では、ランプが故障すると大変な問題になります。単に停止時間が長くなるだけではありません。クォーツ管が破損すると、その破片や化学物質がウェーハに直接飛び散ってしまいます。一度でもそうなると、ウェーハが汚染されてしまいます。
それこそが、私たちが金コーティングされたツインチューブ型のランプを開発した理由です。このリスクを完全に排除したかったのです。
秘密はツインチューブ構造にあります。
1本のチューブで全ての熱を吸収するのではなく、2層のクォーツ管を使っています。これにより、熱負荷が均等に分散されます。フィラメントの労働が2層に分かれるため、外側の壁が過度な熱を受けることはありません。
これにより、ピーク時にもクォーツ管が危険な軟化点に達することがありません。ウェーハ全体に均一な熱が行き渡ります。ホットスポットもなく、急激な破裂もありません。安定した熱供給が得られます。
そして、金の役割です。
いや、見た目のためではありません。金コーティングは赤外線熱を反射する役割を果たします。エネルギーを必要な場所に向けて反射させ、ランプのケースや配線が過度に加熱されるのを防ぎます。
熱がランプ自体から反射されるため、同じワット数の通常のランプよりもチューブの温度が低く保たれます。つまり、より効率的に動作します。
汚染を防ぐために
ウェーハを汚染から守るために、私たちはシール部分にこだわりました。高純度のクォーツを使用し、高温になってもガスが漏れ出ないエンドキャップを採用しました。もしチューブが故障しても、ツインチューブ構造が内部圧力を抑制する安全装置として機能します。
最後に、電力制御装置を確認してください。この金コーティングされたランプには特定の抵抗値があります。電圧を上げて古いハードウェアを「修理」しようとすると、ランプが破損する原因になります。また、冷却ファンがアセンブリの背面からの反射熱に対応できるかも確認してください。そうすれば、このランプは長期間使えます。