無駄なエネルギー消費をやめましょう：ゴールドコーティングされたIRランプの真実
半導体ウェーハを加工している方なら、1ワットでも大切だということはご存知でしょう。無駄に電力を消費するのは本当に悔しいことです。
問題は、通常のクォーツランプではエネルギーがあらゆる方向に放出されてしまうことです。つまり、高価な電力の半分以上が、ウェーハに届く前に装置本体を加熱するだけに使われてしまいます。これは完全な無駄遣いです。
私たちは、ランプの裏側に高純度の金コーティングを施すことでこの問題を解決しました。
なぜ金なのか？
それは単に見た目のためではありません。金は赤外線を反射する能力が非常に優れているのです。アルミニウムや銀などの他の材料は、高温になると剥がれたり酸化したりしますが、金はそのままの状態を保ちます。
まるで熱の鏡のようなものです。光子が四方八方に散逸する代わりに、金がそれらを直接ターゲットへと反射させます。そうすることで、集中したエネルギービームが得られます。最良な点は、電力を増やすことなく、ウェーハにより多くの熱を与えられることです。
電力に関する注意点
エネルギーを集中させるため、熱の密度が非常に高くなります。焦点付近の熱密度は、通常のランプと比べてはるかに高くなります。
そのため、PIDコントローラーをしっかり管理する必要があります。熱が急速に伝わるため、より迅速に温度を調整する必要があります。そうしないと、目標温度に到達する前にオーバーシュートしてしまう可能性があります。
通常、スペースが限られている高ワット数の環境で使用することをお勧めします。金コーティングによって、より少ない数のランプで同じ作業が可能になります。これにより、電源装置への負担も大幅に軽減されます。
Trade-off
ただし、金コーティングは魔法のようなものではありません。クォーツ管にこの層を加えることで、熱の放出方法が変わります。もし非常にゆっくりと低温で処理を行う場合、その過剰な熱が局部的に熱くなってしまう可能性があります。ウェーハが変形しないように、熱の分布をしっかり確認する必要があります。
また、正確な位置調整が必要です。ランプが少しでも傾いていると、反射された光がターゲットを外してしまいます。そうなると、再び最初の状態に戻ってしまい、効率が低下してしまいます。