熱の無駄遣いを止めよう：なぜクォーツ製のシールドがファブ内のラムプにとって重要か
半導体ファブを運営しているとき、最も避けたいのは、加熱用のランプがウェーハを汚してしまうことです。それは大変な問題です。そのため、私たちは高純度のクォーツガラス製のシールドを使用します。
これらは、ランプの「ボディーガード」と考えてください。加熱要素と処理環境の間に位置し、すべてを清潔に保ち、分離してくれます。
なぜクォーツなのか？普通のガラスを使ったらどうなるのか？
実は、普通のガラスは熱を吸収する性質があります。もしそれを使ったら、シールドがそのエネルギーをすべて吸収し、破損してしまうでしょう。
一方、クォーツは異なります。短波長の赤外線をそのまま通過させます。エネルギーは必要な場所に直接届き、シールドの中に留まりません。また、高純度のフュージドシリカを使用しているため、「ガスの漏れ」も防げます。つまり、クリーンルーム内に汚れが混入することがないのです。
コストと炭素排出量の削減
「グリーンファクトリー」についてよく話されますが、実際にどうやって実現するのでしょうか？私たちにとっては、熱を適切に制御することが重要です。
適切なシールドがなければ、熱はあちこちに散逸してしまいます。これは無駄です。熱を集中させることで、筐体の他の部分が過度に加熱されるのを防げます。
つまり、1枚のウェーハあたりの電力消費量が減ります。そして最も良い点は、空調や冷却システムが必要以上に働かずに済むことです。冷却が少なければ、電力も少なくて済みます。これは Win-Win です。
取り付け方法
これらのシールドの取り付けはそんなに面倒ではありません。既存のシステムに簡単に取り付けられます。システムを接続し、シールドを所定の位置に挿入すればOKです。
ただし、注意が必要です。
クォーツは熱には強いですが、壊れやすい性質があります。取り付け時に少しでも衝撃が加わると、シールドが壊れてしまいます。また、手袋を着用することも忘れないでください。
ほんの少しの指紋だけでも問題になります。皮脂がガラス表面に「ホットスポット」を作り、出力を上げると、その部分が原因でシールドが早く壊れてしまいます。常に清潔に保ち、丁寧に扱えば、問題なく機能します。