クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために
もしあなたがクラス100の環境で作業を行っているなら、粒子が飛散するという問題がどれほど厄介かはご存知でしょう。ヒーターから出るわずかな破片だけで、作業した製品全体が台無しになってしまいます。一般的なヒーターでは、このような状況に耐えられず、加熱されるとすぐにガスを放出したり、剥がれ落ちたりしてしまいます。
だからこそ、私たちは高純度の合成石英製のIRランプを使用しているのです。
なぜ石英が重要なのか
実は、私たちが使用しているのは高品質な融結シリカです。これは非常に丈夫で、安価なガラスやコーティングされたチューブと違って、高温になっても壊れたり、微細な破片が発生したりすることはありません。これにより、ウェーハや光学部品にほこりが付着するのを防げます。このレベルの作業では、「ほぼ清潔」というだけでは不十分です。
速く強烈な熱
私たちのランプは速さに特化して設計されています。タングステンフィラメントを真空封入された石英ケースに収めることで、直接的な放射熱を得ることができます。最良な点は、部屋中に熱風を送る必要がないことです。クリーンルームで働いたことがある人なら、空気を送ることは床のほこりを舞い上げるだけだと知っているでしょう。これならずっとクリーンです。
また、使用している電力系統に合わせてワット数や電圧を調整することも可能です。ただし注意が必要です。高ワット数の短波ランプは非常に強力です。冷却ファンや遮蔽装置を適切に設置しなければ、センサーや配線が破損してしまう可能性があります。信じてください。
設置方法
R7sやSK15といった標準的なコネクタを使用しているので、既存のシステムに簡単に取り付けることができます。また、石英は化学的に安定しているため、洗浄剤と反応する心配もありません。
最後に、狭い場所で作業する場合は、配線を確認してください。これらのランプは高温になります。もし配線の絶縁体がそのような高温に耐えられない場合、溶けてしまいます。PTFEやファイバーグラス製の配線を使用しましょう。小さな違いかもしれませんが、これが正常な動作と、生産ライン全体が停止するという事態を防ぐ鍵となります。