マシンを加熱するのではなく、ウェーハを直接加熱しましょう。 ウェーハ処理において赤外線を利用する際、このような問題があります。つまり、実際に加熱したい部分以外のすべての部分が過度に加熱されてしまうのです。 装置の内側の壁面が危険なほど熱くなることがあれば、その苦労はご存知でしょう。これは単なるエネ...

MEMSウェーハを乾燥させる際に、常に清潔な状態を保つためには MEMSセンサーウェーハを乾燥させるとき、熱だけが重要な要素ではありません。本当の課題は、微粒子との戦いです。クラス100のクリーンルームで作業している場合、わずかな破損したフィラメントの破片やガス化した物質でも、全体の製品が無駄にな...

もう推測するのはやめましょう：実際に効果的な赤外線システムの作り方 現代のファブを計画しているなら、単に「温度を上げる」だけでは不十分だということがお分かりでしょう。もはや、単純な加熱処理では不十分であり、熱エネルギーを実際のデータとして扱う必要があります。 つまり、熱源はリアルタイムで何が起きて...

小さな漏れが水素センサーを壊してしまわないようにしましょう 水素センサーを製造する際、適切な温度を維持することが最も重要です。しかし実際には、皆が熱について心配している一方で、本当の問題は電気的な漏れです。 絶縁体に微小な穴があったり、溶接が不十分だったりするだけで、全体の回路が短絡してしまい、一...

なぜウェーハの硬化に赤外線を使用するのか？ 半導体ウェーハの乾燥や硬化においては、赤外線が最適な手段です。これにより、面倒な溶剤を使う必要がなくなりますし、長時間かかって温度が上がるような大型で消費電力の多い対流式オーブンも不要になります。 赤外線の利点は、接着剤やフォトレジスト内の特定の分子振動...