クリーンルーム用作業台赤外線ランプ

ウエハーフロアでは、0.2℃の漂うソフトベークがクリティカルディメンションに影響を与え、エッジで高温になるハードベークはスカムや残留物を残すことを知っています。私たちは、その変動を排除するためにクリーンルームベンチ赤外線ランプを構築しました。 内部で重要なこと これは近赤外線（NIR）石英エミッタ...