기계의 벽면을 가열하는 것을 그만두고, 대신 웨이퍼를 직접 가열하세요.
대부분의 표준 가열 요소들은 열을 모든 방향으로 방출합니다. 반도체 장치가 작고 밀폐된 공간에 있을 때 이는 문제를 야기합니다. 결국 기계의 벽면이 너무 뜨거워져서 작업자가 화상을 입거나 주변의 섬세한 전자 부품들이 손상될 수 있습니다.
이는 에너지 낭비일 뿐만 아니라, 안전상의 문제도 있습니다.
해결책은 의외로 간단합니다. 바로 방향성을 가진 탄소섬유 IR 램프를 사용하는 것입니다.
실제 작동 원리
일반적인 석영 히터는 마치 360도로 빛을 내는 전구와 같습니다. 빛이 넓게 퍼져나가므로 정확한 제어가 어렵습니다. 하지만 탄소섬유 램프는 다릅니다. 반사판이나 특정 형태를 활용하여 빛을 좁고 집중된 광선으로 만들 수 있습니다.
따라서 에너지가 기계 내부에서 헛돌지 않고, 웨이퍼나 기판에 직접 전달됩니다.
더 자세한 정보
몇 가지 알아두어야 할 점이 있습니다. 탄소섬유 필라멘트는 텅스텐만큼 뜨거워지지는 않지만, 중파 적외선을 효과적으로 방출할 수 있습니다. 그래서 온도 상승 속도가 훨씬 빠릅니다.
하지만 단점도 있습니다. 진동에 약하기 때문에, 만약 주변 환경이 흔들리면 필라멘트가 파손될 수 있습니다.
보통은 고객의 요구에 맞춰 이러한 램프를 맞춤 제작합니다. 소형화를 위해 와트수를 조절할 수도 있지만, 제어 시스템이 정확해야 합니다. 열이 너무 빨리 전달되기 때문에, 목표 온도를 초과하지 않도록 주의해야 합니다.
이것이 여러분의 작업에 주는 이점
공기나 기계의 외부 구조물에 에너지를 낭비하지 않으면 모든 것이 더 쉬워집니다. 큰 크기의 냉각 팬이나 비싼 방열 장치를 사용할 필요도 없습니다.
그냥 연결만 해주면 됩니다. 가장 좋은 점은 기계의 몸체가 차갑게 유지된다는 것입니다. 작업자들도 안전해지고, 에너지 비용도 줄어듭니다. 전체 시스템도 더 효율적으로 작동하게 됩니다.