클래스 100급 청정실에서 작업할 때, 단 한 알의 먼지라도 큰 문제가 됩니다. 만약 가열 요소에서 입자들이 떨어져 나온다면, 전체 제품이 망가질 수 있습니다. 그래서 우리는 일반적인 유리나 저품질의 석영을 사용하지 않습니다. 이러한 재료들은 열이 가해지면 조각나거나 이온이 새어나옵니다. 대신, 우리는 웨이퍼를 가열하는 데 고순도의 융합 석영을 사용합니다. 이 재료는 안정적이며, 가스가 새어나오지 않으며, 급격한 온도 변화에도 표면이 손상되지 않습니다.
완벽한 청결 유지 우리는 석영 커버 자체에 많은 신경을 씁니다. 합성 융합 규산을 사용함으로써, 전력을 높일 때 발생하는 불순물들을 제거할 수 있습니다. 게다가 이 방식은 비접촉식 가열 방식이기 때문에, 적외선이 직접 웨이퍼 표면에 닿습니다. 따라서 접촉이나 마찰이 없으며, 기계적 결함이 생길 가능성도 없습니다.
적절한 열량 조절 이는 균형을 맞추는 작업입니다. 우리는 램프의 열 밀도를 높게 설정하지만, 전력과 전압은 신중하게 조절합니다. 왜냐하면 너무 많은 전력을 짧은 관에 공급하면 웨이퍼의 중앙에 과열된 부분이 생길 수 있기 때문입니다. 우리는 필라멘트의 형태를 조정하여 이러한 문제를 방지합니다. 그렇게 하면 웨이퍼의 온도가 고르게 상승합니다. CVD나 어닐링 작업을 할 때는 일관된 온도가 매우 중요합니다.
설치 시 주의사항 우리는 이 램프들을 정밀하게 조립된 커넥터와 함께 배송합니다. 견고한 전기 연결이 필수적입니다. 청정실에서 연결부가 느슨하면 문제가 생깁니다. 그로 인해 아크가 발생하여 금속성 먼지가 생길 수 있습니다. 한 가지 주의할 점은, 고순도 석영은 일반적인 산업용 유리보다 다소 취약하다는 것입니다. 열은 잘 견디지만, 충격에는 약합니다. 따라서 조심스럽게 다루어야 합니다. 먼지가 없는 장갑을 사용하고, 설치할 때 갑작스러운 충격을 주지 않도록 해야 합니다. 그렇지 않으면 석영 커버에 균열이 생길 수 있습니다.