열 낭비를 막아보세요: 왜 석영 실드가 반도체 제조 공정에서 중요한지
반도체 공장을 운영할 때 가장 원하지 않는 것은 가열 램프로 인해 웨이퍼가 오염되는 것입니다. 그건 정말 최악의 상황입니다. 그래서 우리는 고순도 석영 유리로 만들어진 실드를 사용하는 것입니다.
이 실드들은 마치 램프의 보호자와 같습니다. 가열 요소와 처리 환경 사이에 위치하여 모든 것을 깨끗하게 유지해줍니다.
왜 석영일까요? 일반 유리를 사용하면 안 되나요?
일반 유리는 열을 흡수하는 성질이 있습니다. 만약 일반 유리를 사용한다면, 실드가 그 열을 모두 흡수하여 손상될 수 있습니다. 하지만 석영은 다릅니다. 석영은 단파 적외선을 그대로 통과시킵니다. 따라서 에너지는 정확히 필요한 곳으로 전달되고, 실드 안에 갇히지 않습니다. 게다가 우리는 고순도 융합 규소를 사용합니다. 이를 통해 ‘가스 누출’을 방지할 수 있습니다.
비용과 탄소 발자국을 줄입니다
“친환경 공장”에 대해 많이 이야기하지만, 실제로 어떻게 그것을 실현할 수 있을까요? 우리에게 있어서는 열을 효과적으로 제어하는 것이 핵심입니다.
좋은 실드가 없으면 열이 사방으로 퍼져나갑니다. 이는 낭비입니다. 열을 효과적으로 제어함으로써 장비의 나머지 부분이 과열되는 것을 막을 수 있습니다. 그렇게 되면 웨이퍼당 필요한 전력도 줄어듭니다. 게다가 HVAC 및 냉각 시스템도 그만큼 큰 부담을 느끼지 않아도 됩니다. 냉각이 줄어들면 전력 소비도 줄어듭니다. 이는 윈-윈 상황입니다.
설치 방법
이 실드들은 설치하기가 어렵지 않습니다. 그냥 기존 시스템에 연결해주기만 하면 됩니다. 하지만 주의해야 할 점이 있습니다. 석영은 열에는 강하지만, 약합니다. 설치할 때 조금이라도 충격이 가해지면 실드가 파손될 수 있습니다. 그러니 반드시 장갑을 착용하세요.
손가락 자국만으로도 문제가 될 수 있습니다. 피부의 기름기가 유리 위에 “열점”을 만들어내고, 전력을 높이면 그 부분에서 실드가 더 빨리 손상될 수 있습니다. 그러니 실드를 깨끗하게 유지하고 부드럽게 다루면 문제없이 작동할 것입니다.