Hentikan pencemaran wafer sebelum ia berlaku: Cara yang lebih baik untuk menguruskan lampu inframerah
Dalam proses pengeluaran semikonduktor secara besar-besaran, kerosakan pada lampu bukan sekadar masalah kecil atau gangguan sementara. Ia merupakan masalah yang serius. Bayangkanlah jika tiub kuarsa tersebut rosak tepat di atas wafer tersebut. Anda bukan sahaja berhadapan dengan mentol yang rosak, tetapi juga serpihan kaca dan bahan kimia yang boleh merosakkan keseluruhan kumpulan wafer tersebut. Ini merupakan situasi yang sangat buruk. Itulah sebabnya kami mencipta lampu inframerah tanpa ozon untuk mencegah risiko tersebut sebelum ia berlaku.
Masalah berkaitan ozon
Lampu inframerah biasa menghasilkan radiasi dalam julat 185nm. Ini mungkin kedengaran teknikal, tetapi maksudnya ialah lampu tersebut akan menukar udara di sekelilingnya menjadi ozon. Dalam bilik bersih, ozon merupakan gas yang korosif. Ia akan merosakkan lapisan organik pada wafer tersebut. Untuk mengatasi masalah ini, kami menggunakan bahan tambahan khusus serta tiub kuarsa yang dapat menapis gelombang UV tersebut. Anda masih boleh mendapatkan haba yang diperlukan untuk proses penyembuhan yang cepat, tanpa kesan negatif daripada bahan kimia tersebut.
Mencegah kerosakan
Gangguan haba merupakan faktor utama yang menyebabkan kerosakan. Apabila lampu dihidupkan dan dimatikan dengan cepat, tiub kuarsa akan mengembang dan mengecut sehingga akhirnya patah. Kami menggunakan kuarsa tulen untuk meningkatkan titik leburnya, sekali gus menjadikan tiub tersebut lebih tahan lama. Namun, kami tidak berhenti di situ. Kami juga menambah lapisan pelindung dan lapisan khas yang berfungsi sebagai penghalang. Jika filamen di dalam tiub tersebut rosak atau tiub tersebut pecah, lapisan pelindung tersebut akan menahan serpihan tersebut. Dengan cara ini, wafer anda akan tetap bersih.
Kompromi yang perlu diterima (kerana tiada apa yang sempurna)
Saya harus jujur dengan anda: ada sedikit kompromi yang perlu diterima. Lapisan pelindung yang bebas ozon ini akan menghalang sedikit cahaya inframerah. Anda mungkin akan melihat penurunan suhu sebanyak 5-10%. Ini bukan masalah yang serius, tetapi anda mungkin perlu meningkatkan kuasa lampu atau membiarkan wafer tersebut berada dalam keadaan tertentu untuk waktu yang lebih lama untuk mengimbangi penurunan suhu tersebut.
Satu lagi nasihat: periksa sistem penyejukan anda. Lampu-lampu ini cenderung untuk mengumpulkan haba di bahagian hujungnya. Jika aliran udara tidak disetkan dengan betul, elektrod lampu akan rosak lebih cepat daripada biasa.