Di bilik pengeluaran, kestabilan suhu bukanlah sesuatu yang “bagus jika ada”, tetapi merupakan syarat wajib. Perubahan suhu semasa proses pemprosesan fotoresist—walaupun hanya beberapa persepuluh darjah—boleh mengganggu kawalan ketepatan ukuran cakera silikon, dan ini akan merosakkan hasil pengeluaran.
Pemanas jenis lama cenderung untuk tidak berfungsi dengan baik: corak pemanasan yang tidak sekata, adanya zarah-zarah yang tidak diinginkan, serta masalah masa henti yang berlaku pada saat yang paling tidak sesuai. Kami telah mencipta pemanas khas untuk alat-alat pengeluaran semikonduktor, agar dapat memenuhi keperluan termal dalam proses pengeluaran cakera silikon yang canggih.
Apa yang penting
Kami menggunakan pengeluhar haba berasaskan kuarsa yang mampu menghasilkan gelombang inframerah jarak dekat. Ia memanaskan kawasan yang diperlukan dengan cepat, dan suhu tersebut dapat dikawal dengan tepat. Kestabilan suhu pada permukaan cakera silikon adalah sekitar ±0.1°C, ini membantu melindungi kualiti fotoresist semasa proses pemprosesan.
Pemanas ini berfungsi dengan baik dalam persekitaran bilik bersih kelas 1–100, tanpa menambah zarah-zarah yang tidak diinginkan. Kami juga memastikan hal ini dengan pemantauan zarah-zarah secara langsung. Apabila mesin beroperasi 24/7, ketepatan suhu tetap konsisten dari satu kitaran ke kitaran yang lain.
Mengapa cara ini berkesan
Proses litografi dan pemprosesan fotoresist memerlukan kawalan suhu yang sangat tepat. Dengan menggunakan suhu yang sama setiap kali, kita dapat mengawal ketebalan garis pada cakera silikon dengan lebih baik, mengurangkan kecacatan, dan memastikan profil pengikisan berjalan secara terprediksi.
Tindak balas pantas pemanas ini memendekkan masa pemprosesan, tanpa menyebabkan suhu melebihi batas yang ditetapkan. Ini meningkatkan kecekapan mesin. Kami hanya memanaskan bahagian yang benar-benar diperlukan, sehingga penggunaan tenaga berkurangan. Kebolehpercayaan pemanas ini juga tinggi, sehingga mengurangkan masa henti yang tidak dijangka, serta mengurangkan jumlah cakera silikon yang rosak.
Apa yang perlu dipertimbangkan semasa pemasangan
Proses pemasangan bergantung pada kesesuaian antara antaramuka mesin dan beban termal yang dikenakan. Pemanas perlu disetel agar sesuai dengan geometri permukaan panas dan aliran udara di dalam bilik bersih.
Proses penalaan suhu memerlukan masa yang singkat. Setelah disetel, pemanas akan berfungsi dengan baik, selagi keseimbangan termal dan aliran udara di bilik bersih tetap stabil.