Op de lithografieafdeling is een lage verhittingstemperatuur geen keuze – het is een strikte eis. Het is nodig dat de oplosmiddelen op alle plaatsen op de wafer gelijkmatig worden verwijderd. Een kleine afwijking in temperatuur of een ‘hot spot’ kan leiden tot problemen met de kwaliteit van de wafer. We hebben de verwarmingscomponent zo ontworpen dat deze zich binnen deze grenzen bevindt, dag na dag.
Wat technisch gezien belangrijk is: De verwarmingscomponent maakt gebruik van kortegolflengte-infraroodstraling (NIR). Dit zorgt voor een snelle thermische reactie en nauwkeurige controle tijdens het verhitten. De gewenste temperatuur wordt behouden met een nauwkeurigheid van ±0,1°C over het hele oppervlak van de wafer. Hierdoor blijft de kwaliteit constant. De component is ook geschikt voor gebruik in schone ruimtes: er worden materialen gebruikt die voldoen aan de vereisten van klasse 1–100. Er wordt geen stof gegenereerd tijdens het gebruik, en het oppervlak heeft een uitstekende kwaliteit, waardoor defecten worden voorkomen.
Betrouwbaarheid hangt af van de beschikbaarheid van de apparaten. Deze apparaten werken 24/7 zonder storingen. Ze kunnen meer dan 5.000 uur lang worden gebruikt zonder dat de kwaliteit afneemt.
Waarom het werkt: Een lage verhittingstemperatuur beïnvloedt de spanning, viscositeit en hechting van het fotorezistent. Met deze component is de verdamping van oplosmiddelen gelijkmatig, waardoor er minder problemen zijn met de randen van de wafer. Bovendien verbetert de kwaliteit van de wafer bij geavanceerde productieprocessen. De snelle temperatuurstijging verkort de tijd die nodig is voor het proces. Een stabiele temperatuur zorgt er bovendien voor dat er minder afval en herwerkzaamheden nodig zijn.
De energieverbruik wordt verminderd omdat de thermische massa laag is en de controle zeer nauwkeurig is. Ook wordt er minder onderhoud nodig, vooral in fabrieken waar veel verschillende producten worden geproduceerd.
Wat je moet weten: Het gaat om een component die voldoet aan de internationale standaarden voor halfgeleiderapparatuur. Echter, de integratie vereist speciale aandacht. De spanning, de aansluitingen, de montagetoleranties en de luchtcirculatie rondom de verwarmingsplaat moeten precies goed zijn. Anders kan de kwaliteit van de wafer achterblijven.
Werkt samen met ons procesontwikkelteam om de juiste afmetingen en thermische eigenschappen van de apparaten vast te stellen. Voer ook een kort testproces uit om de kwaliteit te controleren.