Op de productielijn heeft een verschil van 0,5°C in de baktemperatuur tot gevolg dat de kritieke afmetingen van het product met enkele nanometers veranderen. Hierdoor wordt veel product afgegooid. Thermische uniformiteit op het niveau van de wafer en reproduceerbare eigenschappen van de fotoreceptor zijn geen theorieën; ze zijn juist belangrijk om de productiekwaliteit te behouden. Kwarts-halogeen-infraroodemissies zorgen voor een stabiele en nauwkeurige warmteoverdracht op de plekken waar dit nodig is: tijdens het zachte en harde bakken, en ook tijdens de voorbereidende stappen voor de exposure. Hier is de thermische controle essentieel, want hier mag er nauwelijks fout gaan.
Wat technisch gezien echt belangrijk is:
Kwarts-halogeenlampen geven kortegolflengte-infraroodlicht af met een snelle respons en nauwe spectraalkontrole. Hierdoor kan de temperatuur snel worden geregeld, zonder dat er sprake is van overdreven temperatuurstijgingen. Wij zorgen ervoor dat de temperatuur over een 300 mm grote wafer binnen ±0,1°C blijft, zodat de photoreceptor over het hele oppervlak dezelfde energie ontvangt. De compatibiliteit met schone werkomgevingen is ook belangrijk: apparaten die in klasse 1–100 worden gebruikt, genereren geen deeltjes, zoals bevestigd wordt door metingen ter plaatse. De prestaties van de apparaten blijven stabiel gedurende meer dan 5.000 uur, met minder dan 5% daling in prestaties. Dit maakt het mogelijk om 24/7 te produceren en de onderhoudskosten te beperken.
Waarom dit goed is voor de praktijk van lithografie:
Voor lithografieprocessen is het belangrijk dat de warmte zich aanpast aan het proces, en niet andersom. Deze emissies passen zich aan aan de thermische profielen van het proces, waardoor de variatie in de breedte van de lijnen wordt verminderd en de kwaliteit van het product verbetert. Er wordt een reproduceerbaar proces gerealiseerd, waarbij de verdamping van oplosmiddelen wordt gereguleerd. Bovendien wordt de hechting van het product verbeterd, zonder dat de wafer opnieuw moet worden verwerkt. De efficiëntie neemt toe omdat de IR-koppeling nauwkeurig is en de thermische massa laag is. Hierdoor wordt ongepland stilstand verminderd: de prestaties blijven stabiel, de koeling blijft effectief en monitoring kan worden uitgevoerd met de bestaande systemen. Het resultaat is een hogere productiekwaliteit, minder afvalproducten en een constante OEE.
Wat je moet controleren bij installatie:
Bij installatie is het belangrijk dat de reflectoren goed op elkaar zijn afgestemd en dat de koeling optimaal werkt. Apparaten die met lucht worden gekoeld, moeten een constante luchtvloeiing hebben; als deze afneemt, wordt de kwartskop warmer en kan het spectrum veranderen. Het systeem moet worden gekoppeld aan de thermische controller en de SPC-logging, zodat de instellingen constant blijven en verstoringen vroeg kunnen worden opgemerkt. Er is een korte opwarmtijd nodig om een stabiele toestand te bereiken. De tijdstippen van het bakken moeten dan ook goed worden ingesteld. Als het systeem goed is afgesteld op het proces, kan het met de precisie werken die vereist is voor geavanceerde productieprocessen.