Mantendo tudo seguro ao tratar wafers em presença de produtos químicos
Sejamos honestos: colocar uma lâmpada de infravermelho de alta temperatura perto de solventes inflamáveis é uma receita para um desastre. Se você usar uma lâmpada comum em um ambiente volátil, está, basicamente, convidando um incêndio para entrar na sua sala limpa. É um risco enorme.
É por isso que desenvolvemos nossos refletores e conjuntos de lâmpadas de forma a manter o calor longe do ar ao redor dela.
Evitando que os vapores entrem
O objetivo é simples: impedir que os vapores químicos entrem em contato com o tubo de quartzo quente. Para isso, envolvemos a lâmpada em um invólucro selado feito de vidro temperado ou quartzo. Em seguida, fixamos as extremidades do invólucro com flanges e juntas reforçadas, capazes de suportar o calor. Isso cria uma barreira eficaz. Se houver vazamento na câmara de limpeza, os vapores não conseguirão entrar no invólucro da lâmpada. Assim, você pode respirar aliviado, sabendo que a lâmpada não funciona como um gerador de faíscas.
Gerenciando o calor
Usamos refletores feitos de alumínio de alta pureza ou revestidos com ouro, para direcionar a energia infravermelha diretamente sobre o wafer. Não há perda de calor, nem dispersão de energia para todos os lados. Como a reflexão é muito eficiente, a parte externa do invólucro permanece mais fria. Mas ainda é preciso ficar atento à circulação do ar. Se o sistema de exaustão não conseguir remover o calor do ambiente, o invólucro pode se aquecer demais, causando danos aos selos ao longo do tempo. Vale a pena verificar isso.
Cabos à prova de faíscas
Não corremos riscos com eletricidade. Usamos cabos e conectores retardantes de chama, projetados especificamente para evitar explosões. Não há risco de faíscas nos pontos de conexão. Além disso, colocamos a fonte de alimentação longe da área de aquecimento. Ao separá-las, eliminamos completamente a possibilidade de ignição.
Uma dica importante sobre o tamanho
Esses dispositivos foram projetados para substituir facilmente os arrays de cura atuais. Porém, como adicionamos todos esses elementos de proteção, o dispositivo fica um pouco maior do que uma lâmpada normal. Antes de fazer o pedido, use uma fita métrica para verificar se há espaço suficiente para instalar o dispositivo sem problemas.