Mantendo as Bolachas MEMS Limpas Durante o Processo de Secagem
Quando seca as bolachas dos sensores MEMS, o calor é apenas metade da solução. A verdadeira batalha é contra as partículas presentes no ar. Se você trabalha em uma sala limpa de Classe 100, já sabe qual é o problema: uma única partícula microscópica pode estragar todo o lote de bolachas.
Por isso, usamos lâmpadas infravermelhas feitas de quartzo sintético de alta pureza. Elas funcionam muito bem.
Por que o Quartzo é Importante
A maioria dos quartzos comuns contém impurezas. Quando o material fica quente, essas impurezas se decomprimem e liberam micropartículas no ar. Isso não é nada bom.
Por isso, usamos sílica fundida de alta pureza. Ela não cristaliza nem libera particulas quando o calor muda rapidamente. Ela permanece estável.
O funcionamento dessas lâmpadas é bem interessante: a radiação infravermelha atinge a camada líquida na superfície da bolacha e a faz evaporar quase instantaneamente. Como usamos um espectro de ondas curtas, a energia vai direto para a água. Não é preciso aquecer toda a câmara para secar as bolachas.
Eliminando as Partículas Indesejadas
Analisamos cuidadosamente a estrutura das lâmpadas e eliminamos os adesivos e resinas baratas. Esses materiais são perigosos, pois liberam gases a altas temperaturas e deixam uma camada química nos sensores.
Em vez disso, usamos selos mecânicos e ligas que conseguem suportar o calor sem se danificarem.
Você notará que a superfície da lâmpada é polida até ficar brilhante como um espelho. Isso não é apenas por estética; significa que não há lugar onde as partículas possam se fixar. Um pequeno conselho: se você estiver conectando essas lâmpadas em um array de alta densidade, mantenha a alimentação elétrica estável. Se houver picos de tensão, o filamento vai vibrar. Isso acontecendo com frequência, a lâmpada vai queimar mais cedo do que deveria.
A Realidade
O quartzo de alta pureza é um pouco frágil. Ele consegue lidar bem com choques térmicos, mas não consegue resistir a impactos físicos. Se sua instalação tiver muita vibração mecânica, será necessário usar suportes amortecedores para proteger as lâmpadas.
Além disso, fique atento ao sistema de exaustão. Como a densidade de calor é muito alta, é preciso remover a umidade rapidamente. Caso contrário, a umidade voltará a se acumular nas bordas das bolachas.