Не допускайте загрязнения пластин до того, как оно начнется: лучший способ использования инфракрасных ламп
В производстве полупроводников в больших масштабах разрушение лампы — это не просто неприятности или временная остановка производства. Это настоящий кошмар.
Представьте себе, что кварцевая трубка ломается прямо над пластинами. Это значит, что вы сталкиваетесь не только с сломанной лампой, но и с осколками стекла и химическими веществами, которые разрушают целую партию продукции. Это полный беспорядок. Именно поэтому мы создали инфракрасные лампы без озона, чтобы предотвратить такие проблемы заранее.
Проблема с озоном
У стандартных инфракрасных ламп короткой длины волны излучение происходит в диапазоне 185 нм. Это звучит сложно, но на самом деле это означает, что они превращают окружающий воздух в озон.
В чистой комнате озон является коррозионным газом. Он разрушает органические слои на поверхности пластин. Чтобы решить эту проблему, мы используем специальные добавки и кварцевые трубки, которые фильтруют ультрафиолетовое излучение. Таким образом, вы получаете все необходимое количество тепла для быстрого высыхания материала, но без негативных химических эффектов.
Как предотвратить разрушение лампы
Настоящей причиной разрушения лампы является термический удар. Когда лампа включается и выключается быстро, кварц расширяется и сжимается, что в конечном итоге приводит к его разрушению.
Мы используем высокочистый фузированный кварц, чтобы повысить температуру плавления кварца и сделать трубки более прочными. Но мы не остановились на этом. Мы также добавили защитные оболочки и специальные покрытия, которые служат своего рода «защитным ковром». Если внутренняя нить лампы выходит из строя или трубка трескается, внешняя оболочка задерживает осколки. Таким образом, ваша кремниевая пластина остается чистой.
Компромиссы (ведь ничего не бывает идеальным)
Честно говоря, существует небольшой компромисс. Покрытия, предотвращающие образование озона, немного блокируют инфракрасное излучение. Вы можете заметить снижение температуры на 5–10%. Это не критично, но вам, возможно, потребуется увеличить мощность лампы или увеличить время ее работы, чтобы компенсировать это.
Еще один совет: обратите внимание на систему охлаждения. У таких ламп тепло скапливается на концах. Если подача воздуха не соответствует размерам лампы, электроды будут изнашиваться гораздо быстрее, чем следует.