หลอดอบเรซินดีปยูวี (DUV)

บนชั้นลิโธกราฟี การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิของการอบเรซิสต์เพียง 0.2°C ไม่ใช่แค่ “ความคลาดเคลื่อนเล็กน้อย” มันหมายถึงการสูญเสียผลผลิตที่เดินออกจากโรงงาน...