100 sınıfı temiz oda koşullarında çalışırken, tek bir toz parçacığı bile sadece rahatsız edici bir durum değil; bir felakettir. Eğer ısıtma elemanlarından parçacıklar kopmaya başlarsa, tüm ürünler boşa gider.
İşte bu yüzden standart cam veya ucuz kuvars malzemelerini kullanmayız. Bu tür malzemeler ısındığında parçalanma eğilimindedir ve iyonlar sızdırabilir. Bunun yerine, wafer ısıtıcılarımız için yüksek saflıkta füzyonlu kuvars kullanıyoruz. Bu malzeme stabil kalır, gaz salmaz ve ani sıcaklık değişikliklerine rağmen yüzeyi zarar görmez.
Her şeyin tertemiz kalması Kuvars kabuklarına büyük önem veriyoruz. Sentetik füzyonlu silika kullanarak, yüksek güç kullanıldığında ortaya çıkan kirleri ortadan kaldırıyoruz.
Ayrıca bu bir temas gerektirmeyen ısıtma yöntemi olduğundan, tüm işlemi kızılötesi radyasyon gerçekleştirir. Kızılötesi radyasyon doğrudan wafer yüzeyine etki eder. Dokunma veya sürtünme olmadığı için mekanik hasar oluşma ihtimali de yoktur.
Doğru sıcaklığı elde etmek Bu bir denge meselesidir. Lambalarımızın yüksek ısı yoğunluğuna sahip olmasını sağlıyoruz, ancak güç ve voltaj konusunda dikkatliyiz. Neden mi? Çünkü çok fazla gücü kısa bir tüpün içine verirseniz, waferinizin merkezinde aşırı ısınma olur.
Bunu önlemek için filaman geometrisini ayarladık. Böylece düzgün ve eşit bir sıcaklık artışı sağlanır. Eğer CVD veya pişirme işlemleri yapıyorsanız, tutarlılığın ne kadar önemli olduğunu biliyorsunuzdur.
Montaj konusunda detaylar Bu lambaları hassas bağlantı noktalarıyla gönderiyoruz. Sağlam bir elektriksel bağlantı gereklidir. Temiz odalarda gevşek bağlantılar kabus gibi bir durumdur; bu durum ark oluşmasına ve sonunda metal tozlarının oluşmasına neden olur.
Ancak bir uyarı: Yüksek saflıkta kuvars, alışık olduğunuz endüstriyel camlara kıyasla daha kırılgandır. Isıyı sever, ancak düşürülmeye karşı çok hassastır.
Lütfen onlara nazik davranın. Tozsuz eldivenler kullanın ve montaj sırasında herhangi bir ani darbeden kaçının; aksi takdirde kuvars kabuğunda çatlaklar oluşur.