Üretim tesislerinde sıcaklık stabilitesi “isteğe bağlı” bir özellik değildir; bu, üretim sürecinin temel gerekliliklerinden biridir. Foto direnç işlemleri sırasında meydana gelen en ufak sıcaklık değişiklikleri bile CD kontrolünü bozabilir ve büyük kayıplara yol açabilir.
Eski tip ısıtıcılar genellikle istenen sonuçları veremez: Düzgün olmayan ısı dağılımı, parçacıklar ve tam da en az ihtiyaç duyulduğu anda ortaya çıkan arızalar gibi sorunlar yaşanır. Gelişmiş yonga üretimi için gerekli olan termal gereksinimleri karşılamak amacıyla yarı iletken ekipmanlar için özel bir ısıtıcı tasarladık.
Önemli olan şeyler Kısa dalgalı kızılötesi ışınlarla çalışan kuvars tabanlı bir ısıtıcı kullanıyoruz. Bu ısıtıcı hızlı bir şekilde ısınır ve ihtiyaç duyulan yerde ısı sağlar. Yonga yüzeyindeki sıcaklık homojenliği ±0,1°C civarında kalır; bu da hem yumuşak hem de sert pişirme işlemlerinde foto direnç verimliliğini korur.
Bu ısıtıcı, temiz oda koşullarında çalışır ve hiçbir parçacık üretmez. Bunu da yerinde parçacık izleme yöntemiyle doğruluyoruz. Üretim süreci 24/7 devam ettiğinde de sıcaklık değerleri her seferinde aynı kalır.
Neden bu sistem işe yarıyor? Litografi ve foto direnç işlemleri sırasında çok sınırlı bir termal bütçe vardır. Her seferinde aynı sıcaklık değerlerini kullanmak, daha iyi çizgi kalitesi, daha az kusur ve öngörülebilir etkiler sağlar.
Hızlı tepki süresi sayesinde pişirme süresi kısalır ve enerji tüketimi azalır. Sadece ısınması gereken yerler ısınır, böylece enerji tasarrufu sağlanır. Güvenilirlik sayesinde planlanmayan duruşlar en aza indirgenir; daha az müdahale ve atık yonga oluşur.
Kurulum sırasında dikkat edilmesi gerekenler Kurulum, ekipmanın arayüzüne ve termal yüküne uyum sağlamayla ilgilidir. Isıtıcının, özel ısıtma plakasının geometrisine ve havalandırma akışına göre ayarlanması gerekir.
Sıcaklık ayarlarının belirlenmesi ve homojenlik kontrolünün yapılması için kısa bir kurulum süresi gereklidir. Ayarlandıktan sonra ise, termal bağlantı ve temiz oda havası akışı aynı kalırsa, cihaz neredeyse hiç ayar gerektirmeden çalışır.