На поверхні літографічного обладнання швидко розумієш, що навіть незначна зміна температури у півградуса може призвести до того, що параметри CD вийдуть за межі допусків. А якщо процес нагрівання відбувається нерівномірно по краях пластини, то це призведе до появи небажаних включень, що ускладнить процедуру перевірки якості. Нагрівання пластини – це не просто додатковий етап процесу. Воно визначає температурний режим для кожного шару, який формується на пластині. Якщо однорідність температури порушується, продукцію не можна відправляти на склад – доводиться постійно боротися з цими проблемами.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми використовуємо контрольовані інфрачервоні джерела світла – короткохвильові та середньохвильові – разом із кварцово-галогеновими елементами для стабільної та швидкої реакції. Найважливішим показником є однорідність температури: ±0,1°C по всій поверхні пластини під час процесу нагрівання фоторезисту. Крім того, важлива сумісність обладнання з умовами чистої кімнати – тож обладнання розраховане на роботу в середовищі класу 1–100, без утворення частинок та з мінімальним виділенням газів. Система працює 24/7, з контролем стану ламп, точним регулюванням потужності та компенсацією температурних змін. Тож значення температури є точним, а не приблизним.
Переваги такого підходу
Можна використовувати як процес м’якого, так і жорсткого нагрівання з однаковим температурним профілем. Це дозволяє зменшити варіації параметрів CD, скоротити кількість необхідних корекцій та підвищити якість продукції. Витрати на енергію зменшуються через можливість нагрівання ламп за потреби, з мінімальною кількістю тепла. Крім того, менше обслуговування дозволяє ефективно використовувати обладнання. У заводах з великим обсягом виробництва стабільне нагрівання означає менше зупинок обладнання та нижчу вартість однієї пластини.
Необхідні умови для ефективної роботи
Системі потрібна стабільна напруга живлення та належний контроль температури біля ламп. Нестабільність напруги призводить до коливань температури. Треба також дотримуватися суворих толеранцій під час встановлення обладнання – адже правильна налаштування безпосередньо впливає на профіль освітлення та, відповідно, на однорідність температури. Потрібно заздалегідь спланувати розташування обладнання – модернізація може бути компактною, але необхідно дотримуватися правил щодо циркуляції повітря та захисту від частинок.