На поверхні літографічного обладнання швидко розумієш, що навіть незначна зміна температури у півградуса може призвести до того, що параметри CD...

На ділянці літографії зняття фоторезисту — це не пасивна зупинка, а тепловий процес, який має виконуватися чисто. Потрібно, щоб фоторезист повністю...