У процесі літографії температура нагрівання не є просто параметром, який можна налаштувати за бажанням – це жорсткий обмежуючий фактор. Необхідно...

На лінії літографії відхилення температури випікання резисту на 0,2°C — це не «невелике відхилення». Це втрати виходу продукції. Soft bake визначає...