Trong môi trường sản xuất chip, việc duy trì độ ổn định nhiệt độ không phải là điều “tốt thì có”, mà là yêu cầu bắt buộc. Ngay cả sự thay đổi nhiệt độ chỉ vài chục phần trăm độ cũng có thể ảnh hưởng đến quá trình kiểm soát kích thước của các linh kiện điện tử, gây ra nhiều sai sót trong quá trình sản xuất.
Các thiết bị sưởi thông thường thường không đáp ứng được yêu cầu này: chúng tạo ra độ không đồng đều về nhiệt độ, có các hạt bụi, và gây ra những gián đoạn trong quá trình sản xuất vào lúc mà chúng ta ít có thể chấp nhận được nhất. Chúng tôi đã phát triển loại thiết bị sưởi dành cho các công cụ sản xuất chip nhằm đáp ứng được các yêu cầu về nhiệt độ trong quá trình sản xuất chip hiện đại.
Điều quan trọng nhất là gì? Chúng tôi sử dụng bộ phát nhiệt dựa trên chất liệu thạch anh, có khả năng phát sóng tia hồng ngoại ngắn bước sóng. Thiết bị này có khả năng làm nóng nhanh chóng, ngay tại vị trí cần thiết, và nhiệt độ sẽ ổn định ngay lập tức. Độ đồng đều về nhiệt độ trên bề mặt wafer đạt mức ±0,1°C, điều này giúp bảo vệ chất lượng của lớp phim quang học trong quá trình sản xuất.
Thiết bị hoạt động trong môi trường phòng sạch cấp độ 1–100 mà không tạo ra bụi bẩn. Chúng tôi kiểm tra điều này thông qua việc giám sát các hạt bụi ngay tại chỗ. Khi thiết bị hoạt động 24/7, độ ổn định của nhiệt độ vẫn được duy trì – nhiệt độ sẽ không thay đổi qua từng chu kỳ sản xuất.
Tại sao phương pháp này hiệu quả? Quá trình in ấn và xử lý lớp phim quang học đòi hỏi phải kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác. Nếu nhiệt độ được duy trì ổn định, chúng ta sẽ có khả năng kiểm soát độ dày của các lớp vật liệu một cách chính xác hơn, giảm số lượng lỗi trong quá trình sản xuất, và các đặc tính của lớp vật liệu cũng sẽ ổn định hơn.
Khả năng phản ứng nhanh của thiết bị giúp rút ngắn thời gian sấy khô, từ đó tăng năng suất sản xuất. Chúng tôi chỉ làm nóng những vị trí cần thiết, giúp giảm mức tiêu thụ năng lượng. Độ tin cậy của thiết bị được đảm bảo nhờ vào việc giảm thiểu các gián đoạn trong quá trình sản xuất – ít dừng máy hơn, ít can thiệp hơn, và ít wafer bị hỏng hơn.
Những điều cần lưu ý khi lắp đặt Việc lắp đặt thiết bị đòi hỏi phải đảm bảo sự tương thích với giao diện của công cụ và mức độ tải nhiệt. Thiết bị sưởi cần được điều chỉnh sao cho phù hợp với cấu trúc của bề mặt nóng và dòng khí thải.
Thời gian cần thiết để điều chỉnh thiết bị khá ngắn, nhằm đảm bảo nhiệt độ được duy trì ổn định và độ đồng đều về nhiệt độ được đảm bảo. Một khi thiết bị đã được điều chỉnh xong, nó sẽ hoạt động ổn định, miễn là các yếu tố liên quan đến nhiệt độ và dòng khí trong phòng sạch vẫn được duy trì ở mức ổn định.