Trên dây chuyền sản xuất có kích thước 300mm, hơi ẩm còn sót lại sau quá trình làm sạch chính là nguyên nhân gây ra những sai số không thể nhận biết được cho đến khi mọi thứ đã quá muộn. Hơi ẩm này xâm nhập vào lớp phim quang hóa, làm xáo trộn sự cân bằng nhiệt độ, và gây ra những khuyết tật trên bề mặt wafer sau khi chiếu sáng. Đèn sấy dùng để loại bỏ hơi ẩm được thiết kế nhằm ngăn chặn tình trạng này ngay từ đầu.
Những yếu tố quan trọng Chúng tôi sử dụng đèn halogen có bước sóng ngắn, với sợi dây tóc phản ứng nhanh, giúp nhiệt được phân phối đúng vị trí cần thiết – một cách nhanh chóng và chính xác. Độ đồng đều của nhiệt độ trên bề mặt wafer phải đạt mức ±0,1°C trong toàn bộ khu vực sấy. Đó chính là lý do tại sao các quy trình sấy mềm và sấy cứng vẫn được duy trì ổn định từ ca sản xuất này sang ca sản xuất khác.
Thiết bị này có thể hoạt động trong các phòng sạch cấp độ 1–100. Nó được chế tạo từ những vật liệu ít phát ra khí, và thiết kế của nó giúp giảm thiểu sự tạo ra các hạt bụi. Nhiệt độ đầu ra ổn định trong khoảng từ 200°C đến 450°C, với độ lặp lại cao, giúp việc sấy khô và ổn định bề mặt wafer diễn ra một cách hiệu quả, mà không gặp phải tình trạng quá nhiệt.
Tại sao thiết bị này lại hiệu quả trong quá trình sản xuất Bạn cần đảm bảo rằng quá trình sấy diễn ra ổn định, dù là vào lúc 02:00 hay 14:00. Đèn này giúp loại bỏ hơi ẩm trên bề mặt wafer, ổn định lớp phim quang hóa trước khi chiếu sáng, và giúp cố định hình ảnh sau khi phát triển phim. Kết quả là giảm số lượng sản phẩm phải sửa chữa, giảm lượng phế liệu, và giúp kiểm soát độ chính xác của hình ảnh một cách hiệu quả.
Việc tiêu thụ năng lượng cũng được giảm bớt nhờ khả năng điều chỉnh nhiệt độ nhanh chóng và chuyển đổi từ trạng thái nghỉ sang trạng thái hoạt động một cách thuận lợi. Thiết bị có thể hoạt động 24/7 mà không gặp sự cố nào. So với các đèn sấy của các nhà sản xuất khác, thiết bị này có thể được tích hợp trực tiếp vào các dây chuyền sản xuất hiện có, mà không cần phải điều chỉnh lại toàn bộ hệ thống.
Những điều cần lưu ý Việc lắp đặt khá đơn giản trên các thiết bị tiêu chuẩn, nhưng việc căn chỉnh lại rất quan trọng. Hãy đảm bảo rằng đèn được đặt đúng vị trí theo quy định; nếu không, bạn sẽ gặp phải tình trạng nhiệt độ không đồng đều. Hãy xử lý cẩn thận lớp thủy tinh bảo vệ đèn – tránh để có dấu vân tay hay chất lỏng dính vào nó. Ngoài ra, hãy kiểm tra độ phản xạ ánh sáng của buồng sấy và các bộ phận phản xạ ánh sáng ngay từ lần sử dụng đầu tiên.
Trong giai đoạn đầu, nhiệt độ đầu ra có thể chưa ổn định. Sau đó, hãy cố định nhiệt độ và để quá trình sấy diễn ra tự nhiên.