在运营100级洁净室时，哪怕只有一粒灰尘存在，那都不仅仅是麻烦事——那简直就是灾难。如果加热元件开始释放出颗粒物，那么整个生产批次的产品都会报废。
正因如此，我们不会使用普通的玻璃或低质量的石英材料。因为这些材料在高温环境下容易碎裂或释放离子。相反，我们会使用高纯度的熔融石英来制造加热元件。这种材料非常稳定，不会释放气体，而且能够承受剧烈的温度变化而不会导致表面损坏。
保持绝对的清洁
我们非常重视石英外壳的品质。通过使用合成熔融硅，我们可以避免那些会导致产品表面出现杂质的缺陷。由于这是一种非接触式加热方式，红外辐射可以直接作用于晶圆表面。这样就不会有任何机械性损伤的风险。
精确控制温度
这需要精心调节。虽然我们需要确保灯具有较高的热密度，但同时也要注意功率和电压的控制。因为如果把过多的能量集中在短时间内，就会在晶圆中心形成热点。我们通过调整灯丝的形状来避免这种情况发生，从而实现均匀的温度上升。对于CVD或退火工艺来说，一致性非常重要。
安装时的注意事项
我们提供的灯具都配有精密的连接器，这样才能确保良好的电气密封性。在洁净室里，如果连接不牢固，就会引发电弧现象，进而产生金属粉尘。不过需要注意的是，高纯度石英比一般的工业玻璃更易碎。虽然它耐热，但却不能承受撞击。因此，在安装时一定要小心处理，最好使用无绒手套，并避免任何突然的冲击，否则就会导致石英外壳出现裂纹。