与真空环境兼容的红外加热器

为什么在真空环境中，镀金反射器如此重要？ 如果你在真空环境中对硅片进行加热，那你一定已经意识到，普通的加热原理在这里是行不通的。因为无法利用对流来传递热量，只能依靠辐射来实现加热效果。 问题在于：如果使用普通的抛光铝或不锈钢作为反射材料，那么大量的能量就会被浪费掉——这些能量并没有作用于硅片上，而...